製造用レーザ加工装置のテクニカル・コンサルテーション

お客様が研究開発（R＆D）にて基礎実験を重ねていたレーザ装置の加工方法について、量産機への展開を相談されました。
親会社の丸文株式会社様と共同して具体的な加工方法の開発から装置設計、納入、メンテナンスまで含めた提案を行いました。

エキシマレーザを使用した加工機。
使用レーザの波長がVUV帯のため通常の大気中ではレーザ光が伝搬しない装置であり、非常に扱いが難しい装置であるが、定期的にレーザ本体及び光学系を含む装置全体のメンテナンスを実施している。
メンテナンス作業自体もレーザ光が大気中伝搬しない状況の中、光学調整を行う方法を確立し安定した加工結果を保持している。
また加工方法も特殊なものであり、加工ステージとレーザの同期制御及びレーザ光のショット数制御を高精度で実現しており、この制御が安定の出来るようメカ部分の長期的な安定性を確保するようメカ部のメンテナンスも実施している。