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実績紹介

成膜用真空チャンバー内のエキシマレーザと光学系の換装

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国立研究開発法人 様
分野 レーザ分野
サービス 保守・オンサイト・テクニカル・コンサルテーション
メーカー ピーブイディープロダクツ(PVD Products)
ピーブイディープロダクツ(PVD Products)
ご依頼内容

超電導技術を活用した航空機用電気推進システム及び各種省エネルギー機器の開発、超電導線材製造、加工プロセス開発と評価技術の開発

超電導線材を製造するために、成膜用真空チャンバー内のターゲット基材にエキシマレーザ光を照射してアブレーションによる成膜を実施しています。このエキシマレーザと光学系をFTCにより保守・交換・調整のメンテナンス業務を実施しています。

委託内容詳細

この装置は2003年に丸文より納入され、FTCのサポート業務により今日まで稼働を維持していました。コヒーレント社より、使用しているレーザの部品供給が出来なくなるサービス終了時期を伝えられていました。長年の使用によりレーザの状態も悪くなり、レーザを現在のモデルへの入替えと光学系調整と装置全体としての動作確認を依頼を受けました。 レーザ単体の入替えはコヒーレント社でも実施可能ですが、光学系を含めた装置全体の調整・動作確認はFTCのみ可能な装置です。

お客様としては、装置全体を新規に購入して古い装置を廃棄したいところですが、予算にも限りのある状でした。この為、装置を継続的に安定稼働させる為、お客様が修理部分の優先順位を付けられ新しいレーザを購入して入替える事にしました。装置としての性能を実現するには、レーザ入替えによる光軸の位置ズレを修正する光学系の調整作業が必要となります。最終的なターゲット基材の目標位置にレーザ照射できるように、光学系を調整して位置の確認を繰返すことで照射位置精度を実現しています。

訴求ポイント

装置の納入時よりFTCのメンテナンスにより、装置の性能を維持して安定稼働させておりお客様よりの信頼を得ている。通常、レーザマーカーではレーザ単体のサポートを実施するが、装置としてのメンテナンスサポートを実施していない。これにより、お客様の装置への改造提案なども実施することにより、長期間の装置稼働を実施している。

フォーサイトテクノのサービス導入後の変化

装置の中で老朽化の進んでいたレーザを新しいモデルに入替えて、レーザとしてのパフォーマンスは向上しました。そして、装置としての性能もフォーサイトテクノとして長年にわたり培ってきた調整の技術により、十分にお客様が喜んでいただける結果を達成いたしました。今年度もこの装置を使用して、研究・製造・材料評価を実施されていくとのことです。

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